特種氣體的供氣系統
通常特種氣體根據氣體性質不同分為惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體，不同的氣體的供氣系統不同，今天我們就給大家介紹一下特種氣體的供氣系統：
1、簡單供氣系統
簡單供氣系統主要針對4英寸及以下半導體芯片廠、半導體材料的科研機構以及一些單臺的工藝設備等，它們的制程簡單，通常不需要連續性供氣，對氣體供應系統的投資預算低，由于氣體流量小，不經常使用，簡單供氣系統通常存在安全隱患。
2、常規供氣系統
常規供氣系統主要應用于4-6英寸大規模集成電路廠，50MW以下的太陽能電池生產線，發光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規模的電子行業，對氣體純度控制的要求不苛刻，系統配備在滿足安全的前提下盡量簡單，節省投資。
3、大宗特氣供氣系統
大宗特氣供應系統采用全自動PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器，可實現自動切換，自動氮氣吹掃，自動真空輔助放空；多重安全防護措施，泄漏偵測，遠程緊急切斷；專用氮氣吹掃起源等等。特種氣體采用獨立氣源，多用點采用VMB或VMP分路供應，VMB或VMP采用支路氣動閥，氮氣吹掃，真空輔助排空等。由于BSGS氣源總量大，多采用獨立的氣體房，獨立的抽風系統。
