高純氣體對于不同類別的氣體,純度指標不同,例如對于氮,氫,氬,氦而言,通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體;而對于氧氣,純度為99.99%即可稱高純氧;對于碳氫化合物,純度為99.99%的即可認為是高純氣體,那么對于該氣體的鋼瓶設置了解的更少了,下面的內容將會具體的介紹,希望大家喜歡。
將高純氣體鋼瓶設置在用氣設備附近直接供氣,常用于用氣量很少的場所,《規范》規定,當日用氣量不超過一瓶(指水容積不超 過40L的鋼瓶)時,氣瓶可設置在潔凈室內,但要采取不積塵和易于清潔的措施,若工藝對高純氣體要求較為嚴格時,比如氣體中總雜質含量≤1.0×10-6時,還需要在氣瓶與用氣設備之間設置末端氣體提純裝置,包括高精度氣體過濾器,以確保供氣質量。
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